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　　电控平移台是一种由步进电机驱动的执行装置。通过丝杠将步进电机的转角平移转换为平台平移。系统一般由三部分组成:平移台、电机和控制器。驱动电机和控制器主要确定驱动矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。平移台台是整个系统的核心，主要参数有平移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

　　电控平移台的传动螺杆采用滚珠丝杠实现高速平稳运动，极高的螺杆品质使平移台具有分辨率和定位精度。采用超高等级交叉滚珠导轨，运动性能超高。系统采用光栅尺闭环控制，在保证大行程的同时分辨率达到1nm。根据定位精度区分，电控平移台可分为1nm高精度平移台、5 nm和10 nm精密平移台和亚微米精密平移台。

　　1）1nm高精度发展电动方向平移台。

　　这种平移级可分为谐波齿轮五相步进电机驱动和普通五相步进电机两种。该系统的分辨率可达1nm,重复定位精度可达±2nm,可提供20mm、40mm和50mm的行程,可组装成多维电子控制运动系统。

　　2)5nm精密电动平移台

　　该类产品为闭环控制平移台，定位精度5 nm，可提供20mm、40mm、50 mm三种不同行程，由于光栅尺位置编码闭环反馈控制，具有良好的分辨率、定位精度和重复定位精镀。

　　3）10nm精度以及电动方向平移台

　　该系统是一个分辨率为10nm的闭环反馈定位系统。它使用光学线性位置编码器，提供大行程，同时使装置具有更高的精度。该类型的评估台可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150～200mm等不同行程的电动平移台。

　　4)亚微米分辨率电子平移平台

　　这种平移平台是指具有亚微米分辨率的精密运动系统。系统也是光学编码闭环控制，精度50-100nm。可提供20毫米、40毫米、50毫米、100毫米、120毫米、150-200毫米等不同行程的电动平移台。，并可根据需要形成二维电子翻译表。

　　此外该系列进行平移台提供在真空环境条件下的同规格的电动方向平移台，可承受的真空度可达到10-4Pa，相当于10-6 torr的真空度。