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　　随着中国先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量技术成为可能。例如，变相光学干涉仪测量一个物体的表面粗糙度，目前我们可以同时达到1纳米的分辨率。在半导体材料领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成系统电路，提出一种测量方法准确率小于50纳米的精度设计要求。

　　这种应用对系统中不同部件的匹配精度和稳定性提出了极高的要求。

　　在理想刚体（仅存在于理论中）中，任意两点的相对位置是常数。也就是说在振动、静力矩或者温度变化的情况下，任何实体的大小和形状都会是恒定的，如果所有的部件都牢靠的连城一个理想的缸体，不同的部件之间没有相对位移，系统性能会非常稳定。

　　理想刚体是不存在的。真实系统只能近似认为是刚性的，所以它的稳定性会受到很多因素的影响。

　　为了能够提高管理系统的稳定性，我们可以从以下的几个方面来着手。

　　1.将系统与振源隔离

　　振动的外部来源很多，如地面振动、各种声音等。而影响最大的是各种低频振动源,主要集中在10～100Hz频率。将系统与这些振动源隔离可以有效地提高系统的稳定性。具有大阻尼的空气弹簧支架可使系统与振动源隔离。

　　2.控制振动的作用

　　把系统组装成动刚性结构，能够保证系统的相对稳定性，降低系统在外面影响下发生共振的概率，提高系统稳定性。

　　3.控制静力矩的作用

　　隔振光学平台的硬重比对其谐振频率有重要影响。较高的硬重比可以增加平台的共振频率，从而减少其在外部影响下的振动。而且在外力作用下，硬重比高的平台可以在最小的重量下产生最小的变形，增加了系统的刚度。内置蜂窝支撑结构的隔振光学平台可以充分提高硬重比，达到提高系统性能的目的。

　　4.控制温度变化

　　随着时间的延续，温度不断变化会造成渐渐的结构进行弯曲。减小温度效应的关键问题在于通过控制技术环境可以减少温度发生变化。例如，避免在平台下放置散热设备，隔绝热源设备和硬件，如光源、火焰等。

　　5.将桌面设计成尽可能对温度不敏感

　　好的热导率可以发挥作用，但是，在极其特殊的应用中，有必要选择一种不会随温度改变其形状和大小的特殊材料。例如，超级膨胀钢的热膨胀系数就非常小。当温度变化1K时，1米长的超级膨胀钢的膨胀长度约为0.2微米。